在净化车间中空气过滤器是实现空气洁净的主要设备。在净化车间空气洁净系统中，一般对空气的处理采用三个级别的过滤方式，即初效空气过滤器、中效空气过滤器和高效空气过滤器。

一、净化车间初效空气过滤器主要是处理空气中的10μm以上沉降性颗粒和异物，对于0.3μm尘粒效率小于20%，相当于质量效率40%-90%，其阻力不大于30Pa，因此多用于过滤10-100μm的尘粒，其滤料一般使用粗孔、中孔泡沫塑料和无纺布等；通过的风速一般为0.5-3m/s，常将滤料做成块状、袋式等，其清扫和更新周期由其具体的气象条件和空气中的含尘浓度确定。初效过滤器种类较多，根据使用滤料可分为聚氨酯塑料过滤器、金属网格浸油过滤器、自动浸油过滤器等，在安装时应考虑便于拆卸和更换滤料，并使过滤器与框架、空调器之间保持严密。　

二、净化车间中效空气过滤器的有效捕集尘粒的粒径大于1μm时，对于粒径为0.3μm尘粒计数效率为20%-90%，其空气阻力小于等于100Pa，中效空气过滤器主要用于过滤1-10μm的尘粒，滤料一般采用细孔泡沫塑料、玻璃纤维和无纺布等，通过过滤器的风速一般为0.05-0.3m/s，为保证通过过滤器的风量，常将滤料做成袋式等形状，以增加过滤面积；中效过滤器的安装与初效过滤器的安装相同，一般安装在空气器内或特制的过滤器箱内，安装时要严密，并便于拆卸和更换。

三、净化车间高效空气过滤器是空气洁净系统的重要部件，高效空气过滤器主要用于过滤微小的灰尘颗粒，尘粒的粒径一般大于0.3μm，其滤料一般采用玻璃纤维和合成纤维，过滤风速一般0.01-0.03m/s；为确保过滤风量，采用增大过滤面积的方法，此类空气过滤器在制作中一般是将滤料多次折叠并在两层折叠滤纸之间用波纹板进行分离。安装前须检查过滤器质量，确认无损坏方可安装；安装时若发现安装用的过滤器框架尺寸不对或不平整，只能修改框架，使其符合要求以确保连接严密，不得修改过滤器，更不能因为框架不平整而强行连接；高效过滤器开箱检查和安装时，须在空气洁净系统安装完毕、调试合格并经运转12h以上，吹净系统内的浮尘，空调器、高效过滤器箱、风管内及洁净房间经过清扫、空调系统各单体设备试运转后及风管内吹出的灰尘量稳定后才能进行，以避免高效过滤器受到污染；过滤器框架之间必须作密封处理， 采用闭孔海绵橡胶板，也可不用密封垫，而改用硅胶涂抹密封，密封垫必须采用梯形拼装方法，若用硅橡胶密封时，涂抹前一定要先去除过滤器和框架上的粉尘，再饱满均匀的涂抹硅橡胶。对洁净度有严格要求的空调系统，应在送风口前用高效过滤器消除空气中微尘，常在高效过滤器前用初效、中效过滤器串联使用以延长其使用寿命。