5、排水设备附件及小型排水构筑物
对于跨度较大的洁净厂房,其生产排水横管往往较长,超过了规范允许的长度,为了清通方便,往往在排水横管上,每隔一定距离设一清扫口,清扫口尽量设在非净化区,如不能避免要在净化区设置,清扫口要选用易清洁的全铜制品。洁净室尽量不设地漏,若工艺需要设置,亦尽量少设,且应选用材质不易腐蚀,内表面光洁,不易结垢,有密封盖,开启方便,能防止废水废气倒灌的洁净地漏。另外,为了顺利收集排水,保持地面清洁,地漏的顶面标高应低于周围地面5～10mm。为了防止通风系统正常工作时,室内洁净空气通过排水管向外渗漏；而当通风系统停止工作时,室外非洁净空气向室内倒灌,影响洁净室的洁净度、温湿度,并消耗洁净室的能量,与排水管相连的各个排水点均应设水封装置,水封深度不得小于50mm。这是维持洁净室内各项技术指标的一个重要措施。为了进一步防止这一现象的发生,同时也为防虫防鼠,洁净区排水出户管末端在接到室外检查井之前,往往还增设水封井。
6、循环水系统
为了保护水资源以及降低生产成本,用于生产设备的冷却水,其使用前后,除了出水水温有了较大的提高,水质变化不大,经冷却塔降温处理后,可重复使用。需要指出的是,由于循环冷却水在循环过程中会产生蒸发、风吹等水量损失,造成了水的浓缩,含盐量增加,直沉积;以及水中微生物繁殖和尘埃悬浮物、腐蚀剥落物及其它杂质,形成沉积物,为提高设备热交换率及延长设备寿命,循环冷却水需进行水质处理，较好的处理方法可采用旁滤装置。
7、消防系统
洁净厂房是相对密闭的建筑，洁净室内通道窄而曲折,致使人员疏散和救火都较困难,且由于厂房内有大量的化学物质(包括建筑材料),失火后产生大量有害气体,因此,配备必要的消防设施尤为必要。洁净厂房的生产层和技术夹层均应设置室内消火栓系统,消火栓的布置应使洁净厂房不出现消防死角,且应保证室内任何一点同时使用的水枪数不少于2支,水枪充实水柱不小于10m,每只水枪的出水量不小于5L.s-1。洁净厂房各场所还须配置建筑灭火器系统,这是扑救初期火灾有效的手段。建筑灭火器配置按国标《建筑灭火器配置设计规范》相关条文执行,一般按中危险级考虑其设置位置及数量。