国内外洁净技术的发展都是随着科学技术的发展特别是军事工业、航天、电子和生物医药等工业的发展而不断发展的。现代工业产品和现代化科学实验活动要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性。

要生产这些产品，就必须达到相应的受控生产环境的空气洁净度等级。对于现今以“微型电脑”为手段的电子信息时代，产品的高质量、高可靠性的重要意义是不言而喻的。基于这种趋势，洁净技术的发展已成为现代工业生产和科学实验活动*的重要标志之一。

洁净室设计（包括洁净空调设计）是洁净技术的重要组成部分。洁净厂房内的压力，温度，湿度，空气流速以及空气洁净度等因素控制的好坏直接影响到生产质量是否达标。 

一、洁净室污染控制技术方案

空气净化的主要任务是根据各种产品生产工艺、不同工序、各类房间的空气洁净度等级需要，采取空气过滤技术措施将洁净室内空气中悬浮的粒状或化学分子污染物质降低到允许的浓度下。

洁净室内的污染源主要来自四个方面：

1、大气中含尘、含菌、净化空调系统中新风带入的尘粒和微生物；

2、作业人员发尘；

3、建筑围护结构、设施的产尘，这里包括墙、顶棚、地面和一些裸露管线的产尘；

4、设备及产品生产过程的产尘。

为保证产品环境或其他用途的洁净室所要求的空气洁净度，要采取多种综合技术措施才能达到要求。这些综合措施包括：应采用产生污染物少的生产工艺及设备，或采取必要的隔离和负压措施防止生产工艺产生的污染物质向周围扩散，采用产尘少、不易滋生微生物的室内装修材料及器具；减少人员及物料带入室内的污染物质；维持生产环境相对于室外或空气洁净度等级要求高的环境有一定的正压，防止室外或邻室的空气携带污染物质通过门窗过其他缝隙、孔洞侵入；加强洁净室的管理，按规定进行清扫、灭菌等。

除采取上述种种技术措施之外，为使生产环境或其他用途的洁净室室内环境控制在所要求的空气洁净度等级，重要的技术措施是需要送入足够量的经过处理的清洁空气，以替换或稀释室内在正常工作时所产生的污染空气。洁净室的空气净化处理就是根据房间不同的洁净度等级要求，采取不同方式送入经过处理的数量不等的清洁空气，同时排走相应数量的携带有污染物质玷污的空气，靠这样的动态平衡，使室内环境维持在所需的空气洁净度等级。

目前洁净室对送入空气的洁净方法，重要和使用广泛的方式是空气过滤法。送入洁净室的清洁空气，主要是靠送风系统的各个部位设置不同性能的空气过滤器，用以除去空气中的悬浮粒子和微生物。

下面将对洁净室污染控制领域中比较新颖的技术方案进行介绍：

（1）用传统的喷水室湿式处理空气法来处理新风中的化学物质。近几年来许多 开展了很多研究证明了其有效性。

（2）采用有杀菌作用的HEPA过滤器(杀菌酵素过滤嚣)。过去采用金属离子的毒性来杀菌，如银型阳高于交换纤维制成的空气过滤器，现今可采用从生物体中提取的天然酵素将细菌的细胞壁溶解以达到杀菌的目的，是一种安全的灭菌措施，它防止了过滤器上微生物增殖所产生的二次污染。

（3）采用UV光电子空气净化方法。这种方法不同于普通的静电过滤器。该方法利用将紫外线照射在金属膜层上产生的光电效应，在空气中产生电子和负离子使流经的污染物质荷电并被集尘极捕集(图1所示)。目前在有限的小空间范围内已有应用。

（4）采用除海盐粒子过滤器。沿海岸地区空气中含盐量较多，台风等强风作用下会更高。

这种状况对微电子工厂极为不利。现在有两种措施：

1)所采用的滤材即使在 盐分附着后不容易析出；

2)在空调箱进入段处先设喷水段及档水板，可先捕集90％的海盐粒子，再经普通的空气过滤器清除未被捕集的粒子。喷雾用水应直接排放出，不予回收。对于临海设置的微电子工厂在空调净化装置中应予考虑。

（5）采用智能型空气离子净化系统。近几年来欧洲开发了一种智能化净化系统，它利用离子发生工作单元的高压电离原理，释放出稳定的正负电氧离子族，带电氧离子与VOC物质发生反应，以达到去除臭味净化空气的目的。

为保证室内空气质量处于理想状态，该系统还配有智能化控制系统，通过送风管上的风速、湿度和传感器及回风管和新风管中的空气品质传感器并将检测数据传到电离控制器，以控制离子发生单元的工作强度，自动控制室内的空气品质，同时这些数据通过传送器和网络，可以进行远程监控。

（6）采用新型空气吹淋室。传统的吹淋室对人体吹淋停止后，小室内的含尘空气有可能被带入车间，新改进的吹琳室，具有快速自净的功能，当停止吹淋气流后，可部分转换成顶部垂直气流，这样可使小室内空气含尘量很快降低，达到自净效果。

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